(一)将溶液放至贮液器的操作步骤
1.将贮液器抽真空至绝对压力667Pa以下(真空度755mmHg以上);
2.将贮液器与机组连接;
3.向精密半岛(中国)机组内(一般由抽气阀)充氮气至表压力0.02MPa;
4.打开机组进液阀排出溶液;
5.当精密半岛(中国)机组内氮气压力低于表压力0. 015MPa时,充入氮气,直至溶液全部放完。
(二)用贮液器充注溶液的操作步骤
1.向贮液器中充氮气至表压力0.02MPa,机组抽真空至绝对压力133Pa以下(真空度759mmHg以上);
2.进行连接,真空软管先与阀D相连,慢慢修理打开阀D,溶液充满软管后,再与机组进液阀相连;
3.依次打开阀D和机组进液阀,溶液进入机组,根据贮液器上的液位计,可知道充注量;
4.达到所需充注量后,依次关闭机组进液阀和阀D;
5.启动溶液泵,观察发生器与吸收器液位;
6.精密半岛(中国)机组运行时再次观察液位,并排出不凝性气体。
文章来源:精密半岛(中国)www.cg-afg.com